*1 ซึ่งสามารถทำได้โดยใช้อุปกรณ์เสริม
ขนาดกระดาน | 50มม.×50มม.-410มม.×300มม 50 มม. × 50 มม. - 630 มม. × 300 มม. (การดำเนินการกับกระดานยาว) * 1 | |
ความละเอียดในการทดสอบ | 12μm (ความละเอียดมาตรฐาน)/5μm (ความละเอียดสูง)*1 | |
มุมภาพ | 48.0×36.0มม.、20.0×15.0มม.*1 | |
รายการตรวจสอบ | การลัดวงจร แรงเฉือน ขั้ว การกลับด้าน การบัดกรีที่ไม่มีการบัดกรี สะพาน ปริมาณการบัดกรี การละเว้นส่วนแทรก การจดจำตัวอักษร*1 | |
FOV (สภาวะที่เหมาะสมที่สุด) | 2D | 0.2 วินาที/1 หน้าจอ |
3D | 61.8ซม.²/วินาที |